(1)沉降缝隔开式；使沉降缝在洁净室与机房之间通过，起分割作用；
(2)夹壁墙隔开式；如果机房紧靠洁净室，不是共用一面墙隔墙，而是各自有各自的隔墙，而两面隔墙之间留有一定宽度的夹缝；
(3)辅助室隔开式；在洁净室与机房之间设辅助室，起缓冲作用；
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(1)沉降缝隔开式；使沉降缝在洁净室与机房之间通过，起分割作用；
(2)夹壁墙隔开式；如果机房紧靠洁净室，不是共用一面墙隔墙，而是各自有各自的隔墙，而两面隔墙之间留有一定宽度的夹缝；
(3)辅助室隔开式；在洁净室与机房之间设辅助室，起缓冲作用；
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