KT-1650PVD小型溅射仪使用指南
1、所需配套设备：小型溅射仪，水冷机，真空泵，高纯氩气
2、 配套设备安装准备工作
水冷机： （此设备为选配配件）本公司配备水冷机型号 JZ-3000.进出水口接 口为 6mm 快插接头，配套 6 米透明 PU 管，外径 6mm 内径 4mm 加水 6 升。建 议加入纯水、去离子水，如没有条件加入自来水也可。
若自行准备水冷机，请匹配合适接头
安装方法：将设备背面进出水口连接设备背面进水口，公司标配 6m 透明 PU 管， 可根据现场实际情况进行裁剪。（设备背面接口无进出水口之分，可任意接）
真空泵：（此设备为选配配件）本公司所配备的是 8m³/h（2.2L/s），KF25 标准接口，及 1200mm 长波纹管。
若自行配备真空泵，请匹配合适大小接头及波纹管
安装步骤
把加油口打开，并将随货的一壶油全部倒入加油口（油量会超过刻度，属正 常现象），将出气口打开，可根据现场实际情况自行安装油雾过滤器或者出气管道排到室外 或者通风橱。注：出气口需保持畅通状态，不可堵塞 进气口连接波纹管，与溅射仪左侧真空挡板阀连接。
高纯氩气：小型溅射仪工作中需要用到高纯氩气，所以需要自行准备高纯 氩气。本公司配备的管道为外径 6mm 内径 4mm 聚四氟管道，请匹配合适的减 压阀及进气接头。设备进气压力为不大于 0.1MPa。
设备安装及准备工作：
将白色聚四氟管道如上图安装至设备背面进气口，并用扳手锁紧
配件安装：
靶材：直径 2 英寸，厚度 0.3mm-3mm
靶材的安装：
先分别取下屏蔽罩、靶材压环、靶材，将需要的靶材和靶材压环紧紧贴住， 用 3 颗螺丝错开锁紧压环，拧上屏蔽罩。屏蔽罩距离靶材压环距离 3mm 左右，
不可将屏蔽罩与靶材压环接触，以免造成设备短路
安装基底：
分别取下玻璃罩和样品台，将衬底固定到样品台上，固定好的样品水平放置在基底座上面，并且三个齿轮要相互咬合，后放好玻璃罩，盖好上盖。
使用前检查：
1、检查水箱里面是否有水打开冷水机电源，检查水冷接口是否连接好，观察有没有漏水的现象 （正常情况不漏水一个月检查一次）