天津中环电炉股份有限公司

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1200℃双管滑动式单,多温区CVD系统,浙江高温管式电炉

2022-02-04 08:45:01  1361次浏览 次浏览
价 格:面议

产品用途:

此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔

电极方面的研究,通过滑动炉实现快速加热和冷却。

产品组成:

CVD系统配置:

1.1200度开启式真空管式炉(可选配单温区及双温区)。

2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配有风冷系统。

3.内外双石英管,采用真空可通气氛双法兰特殊连接。

4.多路气体流量控制系统(质子流量控制器和浮子流量控制器)

5.真空系统(可选配中真空或高真空)

产品特点:

产品独特性

1 控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。

2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权专利设计,提高操作便捷性。

3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵,防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。

4 (电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动,等程序完成,炉体按设定的速度滑动,因有滑动限位功能,炉体不会发生碰撞,待样品露出炉体后,通过风冷系统快速降温。

5 双管真空密封法兰,反应气体可以在内外管之间发生反应,冷却气体可通过内管,从而使内管外壁温度降低。

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